Publication:
The synthesis of thin alumina film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD)

Simple item page
dc.contributor.advisorDuangkhae Bootkul
dc.contributor.advisorSaweat Intarasiri
dc.contributor.advisorปรมาภรณ์ จิตโสภากุล
dc.contributor.authorParamaporn Jitsopakul
dc.contributor.orgunitคณะวิทยาศาสตร์
dc.date.accessioned2025-08-14T10:21:37Z
dc.date.issued2016
dc.date.issuedBE2559
dc.descriptionThesis, (M.S. (Material Science)) -- Srinakharinwirot University, 2016.
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14740/46333
dc.language.isoeng
dc.rightsผลงานนี้เผยแพร่ภายใต้ สัญญาอนุญาตครีเอทีฟคอมมอนส์แบบ แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-ไม่ดัดแปลง 4.0 (CC BY-NC-ND 4.0)
dc.rights.holderSrinakharinwirot University
dc.subject.thashMaterials s
dc.subject.thashThin films
dc.titleThe synthesis of thin alumina film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD)
dc.title.alternativeการเคลือบฟิล์มบางอลูมินาโดยการตกสะสมชั้นอะตอมแบบพลาสมา.
dc.typeThesis
dcterms.accessRightsOpen Access
dspace.entity.typePublication
swu.docNo411137
thesis.degree.grantorSrinakharinwirot University
thesis.degree.levelMasters
thesis.degree.nameM.S. (Material Science)

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
Paramaporn_J.pdf
Size:
4.32 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Bitstream uploaded from Aleph
Download

Collections

SCI: Theses