Publication:
The synthesis of thin alumina film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD)

0
0

Files

Paramaporn_J.pdf (4.32 MB)

Issued Date

2016

Resource Type

Thesis

Language

eng

File Type

application/pdf

Access Rights

Open Access

Rights

ผลงานนี้เผยแพร่ภายใต้ สัญญาอนุญาตครีเอทีฟคอมมอนส์แบบ แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-ไม่ดัดแปลง 4.0 (CC BY-NC-ND 4.0)

Rights Holder(s)

Srinakharinwirot University

Suggested Citation

Paramaporn Jitsopakul (2016). The synthesis of thin alumina film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD). Retrieved from: https://hdl.handle.net/20.500.14740/46333

Title

The synthesis of thin alumina film by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PE-ALD)

Alternative Title(s)

การเคลือบฟิล์มบางอลูมินาโดยการตกสะสมชั้นอะตอมแบบพลาสมา.

Author(s)

Paramaporn Jitsopakul

Advisor(s)

Duangkhae Bootkul
 Saweat Intarasiri
 ปรมาภรณ์ จิตโสภากุล

Organization

คณะวิทยาศาสตร์

Description

Thesis, (M.S. (Material Science)) -- Srinakharinwirot University, 2016.

Degree Name

M.S. (Material Science)

Degree Level

Masters

Degree Grantor(s)

Srinakharinwirot University

Thai Subject Heading(s)

Materials s
 Thin films

View online Resources

Research Projects

Organizational Units

Journal Issue

URI

https://hdl.handle.net/20.500.14740/46333

Collections

SCI: Theses

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By