Publication:
วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค

Simple item page
dc.contributor.assigneeสำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
dc.contributor.assigneeมหาวิทยาลัยมหิดล
dc.contributor.assigneeสถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง
dc.contributor.assigneeมหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ
dc.contributor.inventorโอภาส ตรีทวีศักดิ์
dc.contributor.inventorมติ ห่อประทุม
dc.contributor.inventorนิธิ อัตถิ
dc.contributor.inventorจักรพงศ์ ศุภเดช
dc.contributor.inventorชาญเดช หรูอนันต์
dc.contributor.inventorอัมพร โพธิ์ใย
dc.contributor.inventorภูณิศรา ลิ้มนนทกุล
dc.contributor.inventorณัฐวุฒิ เชิงชื่น
dc.contributor.inventorกาญจนา อุไรสินธว์
dc.contributor.inventorดวงใจ นาคะปรีชา
dc.date.accessioned2022-07-20T14:40:44Z
dc.date.available2022-07-20T14:40:44Z
dc.date.issued2015
dc.date.issuedBE2558
dc.description.abstractการประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/20.500.14740/11621
dc.language.isotha
dc.publisherกรมทรัพย์สินทางปัญญา
dc.rightsผลงานนี้เผยแพร่ภายใต้ สัญญาอนุญาตครีเอทีฟคอมมอนส์แบบ แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-ไม่ดัดแปลง 4.0 (CC BY-NC-ND 4.0)
dc.rights.holderมหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ
dc.subject.otherสิทธิบัตร
dc.titleวิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค
dc.typePatent
dcterms.accessRightsopen access
dspace.entity.typePublication

Files

Original bundle

Now showing 1 - 1 of 1
Thumbnail Image
Name:
patent0901002164.pdf
Size:
437.4 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Download

Collections

SWU: Patents