Publication:
วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค

0
0

Files

patent0901002164.pdf (437.4 KB)

Issued Date

2015

Resource Type

Patent

Language

tha

File Type

application/pdf

Access Rights

open access

Rights

ผลงานนี้เผยแพร่ภายใต้ สัญญาอนุญาตครีเอทีฟคอมมอนส์แบบ แสดงที่มา-ไม่ใช้เพื่อการค้า-ไม่ดัดแปลง 4.0 (CC BY-NC-ND 4.0)

Rights Holder(s)

มหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ

Suggested Citation

(2015). วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค. สืบค้นจาก: https://hdl.handle.net/20.500.14740/11621

Title

วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค

Inventor(s)

โอภาส ตรีทวีศักดิ์
 มติ ห่อประทุม
 นิธิ อัตถิ
 จักรพงศ์ ศุภเดช
 ชาญเดช หรูอนันต์
 อัมพร โพธิ์ใย
 ภูณิศรา ลิ้มนนทกุล
 ณัฐวุฒิ เชิงชื่น
 กาญจนา อุไรสินธว์
 ดวงใจ นาคะปรีชา

Assignee

สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ
 มหาวิทยาลัยมหิดล
 สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง
 มหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ

Abstract

การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้

Subject(s)

สิทธิบัตร

View online Resources

Research Projects

Organizational Units

Journal Issue

URI

https://hdl.handle.net/20.500.14740/11621

Collections

SWU: Patents

Endorsement

Review

Supplemented By

Referenced By