Abstract:
โครงงานวิศวกรรมฉบับนี้จัดทำขึ้นเพื่อศึกษาและออกแบบเครื่องกำเนิดลาพลาสมาอุณหภูมิต่ำชนิดการดิสชาร์จข้ามฉนวนซึ่งถูกกระตุ้นด้วยแหล่งจ่ายไฟฟ้าแรงดันสูงกระแสตรงและกระแสสลับ โดยได้ทำการทดลองออกแบบขั้วไฟฟ้าที่มีลักษณะแตกต่างกัน 2 แบบ คือ ขั้วไฟฟ้าแบบระนาบคู่และขั้วไฟฟ้าแบบทรงกระบอกซ้อนแกนร่วม เพื่อเปรียบเทียบลักษณะของพลาสมาที่ได้ จากนั้นได้ศึกษาและวิเคราะห์ความสัมพันธ์ของรูปแบบสัญญาณแรงดันดิสชาร์จ และกระแสดิสชาร์จจากการปรับเปลี่ยนค่าตัวแปรต่างๆ เช่น ระยะห่างระหว่างขั้วไฟฟ้า ค่าแรงดันไฟฟ้า และอัตราการไหลของก๊าซ จากการศึกษาพบว่า แรงดันเบรคดาวน์จากแหล่งจ่ายไฟฟ้ากระแสสลับทำให้เกิดพลาสมาที่แรงดันต่ำกว่าแหล่งจ่ายไฟฟ้ากระแสตรง ซึ่งรูปแบบสัญญาณทางไฟฟ้าดิชชาร์จขึ้นอยู่กับระยะห่างระหว่างขั้วไฟฟ้าและค่าแรงดันของแหล่งจ่าย ที่แรงดันแหล่งจ่ายคงที่ขนาดและความเข้มของลาพลาสมาจะขึ้นอยู่กับอัตราการไหลของก๊าซ