วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค

Please use this identifier to cite or link to this item: https://ir.swu.ac.th/jspui/handle/123456789/22610

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.date.accessioned	2022-07-20T14:40:44Z	-
dc.date.available	2022-07-20T14:40:44Z	-
dc.date.issued	2558	-
dc.identifier.uri	https://ir.swu.ac.th/jspui/handle/123456789/22610	-
dc.language	th	-
dc.publisher	กรมทรัพย์สินทางปัญญา	-
dc.subject	สิทธิบัตร	-
dc.title	วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค	-
dc.type	Patent	-
dc.contributor.inventor	โอภาส ตรีทวีศักดิ์	-
dc.contributor.inventor	มติ ห่อประทุม	-
dc.contributor.inventor	นิธิ อัตถิ	-
dc.contributor.inventor	จักรพงศ์ ศุภเดช	-
dc.contributor.inventor	ชาญเดช หรูอนันต์	-
dc.contributor.inventor	อัมพร โพธิ์ใย	-
dc.contributor.inventor	ภูณิศรา ลิ้มนนทกุล	-
dc.contributor.inventor	ณัฐวุฒิ เชิงชื่น	-
dc.contributor.inventor	กาญจนา อุไรสินธว์	-
dc.contributor.inventor	ดวงใจ นาคะปรีชา	-
dc.contributor.assignee	สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ	-
dc.contributor.assignee	มหาวิทยาลัยมหิดล	-
dc.contributor.assignee	สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง	-
dc.contributor.assignee	มหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ	-
dc.description.abstractthai	การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้	-
Appears in Collections:	Patents

Files in This Item:

File	Size	Format
patent0901002164.pdf	437.4 kB	PDF	View/Open

Show simple item record