Please use this identifier to cite or link to this item:
https://ir.swu.ac.th/jspui/handle/123456789/22610| Title: | วิธีการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงทางเคมีแนวระนาบแบบจุลภาค |
| Assignee: | สำนักงานพัฒนาวิทยาศาสตร์และเทคโนโลยีแห่งชาติ มหาวิทยาลัยมหิดล สถาบันเทคโนโลยีพระจอมเกล้าเจ้าคุณทหารลาดกระบัง มหาวิทยาลัยศรีนครินทรวิโรฒ |
| Inventors: | โอภาส ตรีทวีศักดิ์ มติ ห่อประทุม นิธิ อัตถิ จักรพงศ์ ศุภเดช ชาญเดช หรูอนันต์ อัมพร โพธิ์ใย ภูณิศรา ลิ้มนนทกุล ณัฐวุฒิ เชิงชื่น กาญจนา อุไรสินธว์ ดวงใจ นาคะปรีชา |
| Keywords: | สิทธิบัตร |
| Issue Date: | 2558 |
| Publisher: | กรมทรัพย์สินทางปัญญา |
| Abstract(TH): | การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ การประดิษฐ์นี้เป็นการสร้างขั้วไฟฟ้าอ้างอิงแบบจุลภาค โดยใช้เทคนิคการกัดแบบพลาสมา อย่างลึก (Deep Reactive Ion Etching) ให้เกิดเป็นช่องสำหรับเติมสารละลายในแผ่นซิลิกอน และใช้ ฟิล์มฉนวนบางแบบแขวนลอยทำหน้าที่เป็นเยื่อหรือเมมเบรนให้น้ำในสารละลายแพร่ผ่านได้ |
| URI: | https://ir.swu.ac.th/jspui/handle/123456789/22610 |
| Appears in Collections: | Patents |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| patent0901002164.pdf | 437.4 kB | View/Open |
Items in SWU repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.